完全遵从欧盟的安全和环保的法规VOC Directive 1999/13/EC,因而我们确保FD 100V的排放大大低于目前的欧盟标准
并低于未来将执行的欧盟环保标准(Compliant with EN12921/4)。
Femto PCCE创新触摸屏
适用制程研发,清洁，活化，蚀刻
具有5600升的真空容积,并配有PC控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)腔室:宽2250 X 高 2450 X 深1000 mm
本系統可裝于机械手，也可于全自动生产线上使用
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