纳米涂层处理设备
Parylene镀膜技术广泛用于航空航天，兵器，船舶等领域；经Parylene涂敷后的产品具有较高的绝缘强度和耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防潮、防锈、透明、防水、生物相容性等作用。
PECVD Parylene Machine
PARYLENE P280
| 外形尺寸 |
L2600mm W1000mm H2000mm |
| 内腔尺寸 |
Φ0640mm H800mm |
| 旋转层 |
Φ0560mm H650mm |
| 沉积材料 |
Parylene N, C, (D), F-VT4,F-AF4 |
| 涂层厚度范围 |
0.05 to 100 micrometers |
| 高温分解 |
4Kw/ max.850°C |
|
旋转台8层可调 |
PARYLENE P310
| 外形尺寸 |
L2200mm W2700mm H1600mm |
| 内腔尺寸 |
Φ700mm H720mm |
| 旋转层 |
Φ600mm H660mm |
| 沉积材料 |
Parylene N, C&(D),for Perylene D |
| 涂层厚度范围 |
0.05 to 50 micrometers |
| 高温分解 |
4Kw/ max.850°C |
|
旋转台8层可调 |
CVD Parylene Machine
HM-P5
I-46058C
| 外形尺寸 |
L2900mm W1900mm H11700mm |
| 内腔尺寸 |
Φ500mm H780mm |
| 旋转层 |
Φ4000mm H670mm |
| 沉积材料 |
Parylene N, C,(D), F-VT4,F-AF4 |
| 涂层厚度范围 |
0.05 to 100 micrometers |
| 高温分解 |
8Kw/max.850°C |
| 旋转台6-10层可调 |
